Date: November 22, 2004 at 21:46:46
From: R.Lang, [pd9ef18e2.dip.t-dialin.net]
Subject: Re: Verständnisproblem Stapelaktor...

Hallo Baffe, ich nehme mal an das die Piezokeramiken vor der elektrischen Formierung mechanisch montiert wurden und zusammengelötet oder geklebt wurden. Das Formieren geht dann wie folgt vor sich, die Keramik wird über den Curoepunkt erwärmt, es wird eine hohe Spannung angelegt, die Keramik kühlt unter den Curiepunkt ab. Die Keramik hat dann Piezoeigenschaften. Je nach dem wie man das Feld an die Keramik anlegt ist die Keramik nach der Formierung polarisiert. Wenn die Plättchen wie ne Halbbrücke geschaltet sind so sind sie später elektrisch parallel aber mechanisch in Serie geschaltet. Die Platten sollten sich normalerweise nicht verbiegen sondern in der Dicke ändern. Durch eine solche Anordnung kann man mit der halben Spannungsamplitude dem doppelten mechanischen Weg erreichen. Für Präzessionsantriebe stapelt man ganze Türme von Piezos,betreibt diese elektrisch parallel und mechanisch in Reihe. Will man reproduzierbare Wege damit erzielen so muss ein wegmessende Rückkopplung vorgesehen werden, denn die Piezos haben eine Hysterese bei der unter anderem die Piezotemperatur auch ne Rolle spielt. Solche Antriebe können sehr schnell sein und relativ grosse Kräfte aufbringen. Vorteil sie machen kein Magnetfeld, da relativ kleine Ströme fliessen, und elektrische Felder sind leicher abzuschirmen wie elektromagnetische. Daher werden solche Antriebe gerne zur Feinpositionierung von Belichtungsmasken in der Halbleiterindustrie verwendet. Übrigens liegt der Curiepunkt bei den Keramiken zwischen 240 - 280 Grad Celsius. Gruss Rainer